UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド

Product Name	UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド
Classification	吸着ハンド
Use	ウエハ搬送用(大気用)
Material	高純度アルミナ 炭化ケイ素
Feature	耐久性向上 高耐熱性 接着剤不使用
Size	12インチ：外形330×104 mm、厚み3.5 mm 8インチ ：外形158×74 mm、厚み1.9 mm

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LeviZac8-inch

（LeviZac8-inch）

• Adhesive-free
• Improved durability
• Adsorption type
• Heat resistance
• Metal-free
• For Atmospheric
• Thinner
• High strength
• Integrated cavity

Capable of holding wafers within 3mm of wafer circumference

LeviZac12-inch

（LeviZac12-inch）

• Adhesive-free
• Improved durability
• Adsorption type
• Heat resistance
• Metal-free
• For Atmospheric
• Thinner
• High strength
• Integrated cavity

Capable of holding wafers within 3mm of wafer circumference

PeriZac8-inch

（PeriZac8-inch）

• Adhesive-free
• Improved durability
• Adsorption type
• Heat resistance
• Metal-free
• For Atmospheric
• Thinner
• High strength
• Integrated cavity

Capable of holding wafers within 3mm of wafer circumference

PeriZac12-inch

（PeriZac12-inch）

• Adhesive-free
• Improved durability
• Adsorption type
• Heat resistance
• Metal-free
• For Atmospheric
• Thinner
• High strength
• Integrated cavity

Capable of holding wafers within 3mm of wafer circumference

UniZac-air8-inch

（UniZac-air8-inch）

• Adhesive-free
• Improved durability
• Adsorption type
• Heat resistance
• Metal-free
• For Atmospheric
• Thinner
• High strength
• Integrated cavity

Effective for organic-based outgas control

UniZac-air12-inch

（UniZac-air12-inch）

• Adhesive-free
• Improved durability
• Adsorption type
• Heat resistance
• Metal-free
• For Atmospheric
• Thinner
• High strength
• Integrated cavity

Effective for organic-based outgas control

UniZac-Obon8-inch

（UniZac-Obon8-inch）

• Adhesive-free
• Improved durability
• Adsorption type
• Heat resistance
• Metal-free
• For Atmospheric
• Thinner
• High strength
• Integrated cavity

Reduced weight and thickness

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Video of "UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド"

• 吸着ハンド（UniZac-air®）12インチの搬送動画

  12インチ 吸着ハンド（UniZac-air®）のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。

• 吸引ポートの位置の変更はできますか。

  位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。
  

• 12インチ、8インチ以外のウエハサイズに対応したUniZac-air® は、製作が可能ですか。

  製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
  詳細はお問い合わせください。
  

• UniZac-air® は、反転搬送ができますか。

  反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
  

• 取付穴の位置の変更はできますか。

  できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。
  

• アルミナ以外の材質のUniZac-airはありますか。

  SiC空洞一体ハンドUniZac-airがあります。詳細はこちら→

• UniZac-airのデモ機はありますか。

  あります。アルミナでは、12インチと8インチ用があります。SiCは8インチ用があります。SiCの12インチは現在製作中です。