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多孔質セラミックスAZPV60

多孔質セラミックスAZPV60|Ceramics Design Lab
Product Name 多孔質セラミックスAZPV60
Classification 多孔質セラミックス
Use セッター
フィルター
吸着
Material 多孔質セラミックス
Feature 通気率向上
ワーク変形の防止
高い応答性
Size 30×30×t4(一例)

Features Of This Product

多孔質セラミックスAZPV60は、アルミナ系の多孔質セラミックスです。気孔の構造を工夫することにより、気孔径が40μmと小さいながら通気率が高いことが特徴です。薄く反ったワークの吸着に向いています。脱脂性がよく、焼成セッターとしても利用可能です。

Features of "多孔質セラミックスAZPV60"

  • 多孔質セラミックスAZPV60|Ceramics Design Lab
    ・通気率が向上:AZPW40の2倍、AZP60の35倍の通気率を実現
    ・小さい気孔率を維持:AZP60と同程度の気孔率を実現
  • 多孔質セラミックスAZPV60|Ceramics Design Lab
    AZPV60は気孔径が小さいため、ワークの変形を防止できます。
  • 多孔質セラミックスAZPV60|Ceramics Design Lab
    AZPV60は、ワークを吸引後、脱離するときの戻り時間が短いため、応答性に優れています。

Shape of "多孔質セラミックスAZPV60"

  • 多孔質セラミックスAZPV60|Ceramics Design Lab
    標準サイズは、30×30×t4 mmです。その他のサイズについては、別途お問い合わせください。

Frequently Asked Questions on "多孔質セラミックスAZPV60"

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    利用できます。多孔質埋め込みハンドの当社オリジナルハンドをご提案させていただきます。


    詳細はお問い合わせください。


     


    多孔質埋め込みハンドの外観


  • 最大サイズは、100×100×t7 mmになります。最小サイズは、厚み1mm程度となります。 詳細はお問い合わせください。

  • 搬送ハンドでは、多孔質埋め込みハンドに実績がございます。反りウエハが搬送できます。 多孔質チャックでは、反りウエハを吸着する用途でご使用頂いている実績がございます。 フィルターでは、ガスのフィルターとしてご使用頂いている実績がございます。

  • 利用できます。通気性が高く、脱脂性がよい素材です。

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