| 產品名稱 | 多孔質セラミックスAZPV60 |
|---|---|
| 分類 | 多孔質セラミックス |
| 用法 |
セッター フィルター 吸着 |
| 材料 | 多孔質セラミックス |
| 特徵 |
通気率向上 ワーク変形の防止 高い応答性 |
| 尺寸 | 30×30×t4（一例） |
本產品的特點
多孔質セラミックスAZPV60は、アルミナ系の多孔質セラミックスです。気孔の構造を工夫することにより、気孔径が40μmと小さいながら通気率が高いことが特徴です。薄く反ったワークの吸着に向いています。脱脂性がよく、焼成セッターとしても利用可能です。
"多孔質セラミックスAZPV60"的特點
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・通気率が向上：AZPW40の2倍、AZP60の35倍の通気率を実現
・小さい気孔率を維持：AZP60と同程度の気孔率を実現
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AZPV60は気孔径が小さいため、ワークの変形を防止できます。 -
AZPV60は、ワークを吸引後、脱離するときの戻り時間が短いため、応答性に優れています。
"多孔質セラミックスAZPV60"的形狀
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標準サイズは、30×30×t4 mmです。その他のサイズについては、別途お問い合わせください。
"多孔質セラミックスAZPV60"實例及成果
"多孔質セラミックスAZPV60"常見問題解答
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最大サイズは、100×100×t7 mmになります。最小サイズは、厚み1ｍｍ程度となります。 詳細はお問い合わせください。
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搬送ハンドでは、多孔質埋め込みハンドに実績がございます。反りウエハが搬送できます。 多孔質チャックでは、反りウエハを吸着する用途でご使用頂いている実績がございます。 フィルターでは、ガスのフィルターとしてご使用頂いている実績がございます。
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利用できます。通気性が高く、脱脂性がよい素材です。
