| Product Name | 多孔質セラミックスAZPV60 |
|---|---|
| Classification | 多孔質セラミックス |
| Use |
セッター フィルター 吸着 |
| Material | 多孔質セラミックス |
| Feature |
通気率向上 ワーク変形の防止 高い応答性 |
| Size | 30×30×t4（一例） |
Features Of This Product
Features of "多孔質セラミックスAZPV60"
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・通気率が向上：AZPW40の2倍、AZP60の35倍の通気率を実現
・小さい気孔率を維持：AZP60と同程度の気孔率を実現
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AZPV60は気孔径が小さいため、ワークの変形を防止できます。 -
AZPV60は、ワークを吸引後、脱離するときの戻り時間が短いため、応答性に優れています。
Shape of "多孔質セラミックスAZPV60"
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標準サイズは、30×30×t4 mmです。その他のサイズについては、別途お問い合わせください。
Examples and achievements of "多孔質セラミックスAZPV60"
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2023.08.086インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）
Industry: SemiconductorIndustrial machineryFilm
Material: ブラックアルミナ,Porous Ceramics
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2023.08.08
パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
Product Type: Wafer Transfer End Effector / Handling Arm
Proposed Effect: Wafer Scratch Prevention,Suction Mark Reduction
Frequently Asked Questions on "多孔質セラミックスAZPV60"
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最大サイズは、100×100×t7 mmになります。最小サイズは、厚み1ｍｍ程度となります。 詳細はお問い合わせください。
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搬送ハンドでは、多孔質埋め込みハンドに実績がございます。反りウエハが搬送できます。 多孔質チャックでは、反りウエハを吸着する用途でご使用頂いている実績がございます。 フィルターでは、ガスのフィルターとしてご使用頂いている実績がございます。
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利用できます。通気性が高く、脱脂性がよい素材です。
