| Product Name | UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用） |
|---|---|
| Classification | センサー溝付き搬送ハンド |
| Use | ウエハ搬送用(大気用) |
| Material | 高純度アルミナ |
| Feature |
・空洞内部にセンサー溝がある ・表面が吸着面、裏面にセンサー溝の 挿入口がある ・接着剤不使用の完全一体型のため 耐熱性がある ・貼り合わせ部品が剥がれる恐れがない |
| Size | 外形330×112 mm、厚み3.5 mm |
Features Of This Product
UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）は、1本の搬送ハンドの内部に、吸着の流路と、センサー溝の流路の2つの流路を兼ね備えた当社のオリジナルハンドです。表面は、吸着面で、3箇所の吸着穴で12インチウエハを吸着します。裏面は、センサーの挿入口があります。完全な空洞一体型のため、接着剤を使用せず、センサーを通すことができます。そのため、アウトガス対策に有効です。また、センサーをハンド内部に収納できるので、コンパクト化が可能です。貼り合わせ仕様の場合に比べて、ウエスふき取り時のパーティクル発生が抑制できます。
Features of "UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）"
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左は、ウエハ吸着面の表面の写真です。
・空洞内部にセンサー溝がある
・表面は吸着面で、裏面にセンサー溝の挿入口がある
・接着剤不使用の完全一体型 -
左は、センサーを通した裏面の写真です。
・裏面にセンサー溝の挿入口がある
・センサーをハンドの内部に収納できる -
左は、空洞一体型と貼り合わせの断面図です。
貼り合わせ仕様は、貼り合わせ部品が剝がれる恐れがありますが、空洞一体型はその心配がありません。
Shape of "UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）"
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図1は、UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝空洞一体ハンド（12インチ用）の表面の外形図と断面図です。3ヶ所の吸着穴で12インチウエハを吸着する形状です。
※画像をクリックすると、拡大できます。 -
図2は、UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝空洞一体ハンド（12インチ用）の裏面の外形図と断面図です。C部がセンサー出口で、D-D断面図がセンサー先端側となります。
※画像をクリックすると、拡大できます。
Examples and achievements of "UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）"
Frequently Asked Questions on "UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）"
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できます。吸着ハンドのため、ウエハを吸着したまま、反転ができます。
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