LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

Product Name	LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
Classification	浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
Use	ウエハ搬送用(大気用)
Material	高純度アルミナ
Feature	I型かつ薄型のため、狭いカセットピッチへのウエハ搬送が可能 4～8インチの薄反りウエハの搬送が可能複数のガイドでウエハの保持が可能
Size	外形180×30 mm、厚み2 mm 外形226×85 mm、厚み2 mm 外形228×70 mm、厚み2 mm

Features Of This Product

LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)は、総厚2 mmの薄型ベルヌーイハンドです。ハンド本体の厚みは1.5 mm、ウエハ保持用のガイドの厚みは0.5 mmです。総厚が2 mmと薄いため、狭いカセットピッチへのウエハの搬送に対応できます。ハンド根本の吸引ポートに、圧縮空気を送ることで、ベルヌーイ効果により得た引力でウエハを保持します。8箇所のガイドでウエハを保持し、ウエハのズレや落下を防ぎます。耐久性に優れ、薄く反りのあるウエハの搬送に適しています。また、空洞内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜を施すことで、パーティクルの発生を抑制しました。

Features of "LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)"

左の写真は、総厚2 mmのI型形状の搬送ハンドです。
・薄反りウエハの搬送が可能
・8箇所のガイドでウエハを保持
・反転動作が可能
・4～8インチのケガキ線付き
左の写真は、総厚2 mmのしゃもじ形状の搬送ハンドです。
・空洞内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜を施し、パーティクルの発生を抑制
・3箇所のガイドでウエハを保持
・反転動作が可能
左の写真は、総厚2 mmのY形状の搬送ハンドです。
・空洞内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜を施し、パーティクルの発生を抑制
・4箇所のガイドでウエハを保持
・反転動作が可能

Shape of "LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)"

図 1は、I型LeviZac®(薄型) の外観です。
8 箇所の噴き出し穴とガイドがあります。
図 2は、I型LeviZac®(薄型) の断面図です。
ハンド根本の吸引ポートに、圧縮空気を送ることで、ベルヌーイ効果により得た引力でウエハを保持します。

Examples and achievements of "LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)"

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Frequently Asked Questions on "LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)"

LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドは、高温での使用が可能ですか。

ガイドの耐熱温度が100℃のため、それ以上の温度での使用は難しいです。
高温環境下での使用の場合は、ガイドの素材と本体をアルミナ一体型にした形状でご提案させていただきます。
詳細は、お問い合わせください。詳細はこちら→
LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドは、ワークの上面を保持して、水平姿勢で搬送できますか。

ワークの上面を保持して、水平姿勢で搬送できます。LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドは、8箇所のガイドでワークを保持します。ワークの上面を上から引き付け、保持し、搬送ができます。
LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドのデモ機はありますか。

デモ機はあります。無料で貸し出しできます。貸し出し期間は、約２週間です。詳しくはお問い合わせください。詳細はこちら→
薄型のベルヌーイハンドを提案してほしいです。

当社のオリジナルハンドであるLeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)をご提案させていただきます。総厚2 mmの薄型ハンドであり、狭いキャリア内へウエハの出し入れが可能です。さらに、薄型で軽量のため、ロボットの軽量化や省スペース化、省エネ化が見込めます。