反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）

Product Name	反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）
Classification	吸着ハンド
Use	ウエハ搬送用(大気用)
Material	高純度アルミナ
Feature	・先端2箇所に段差を設けた　空洞一体型ハンド・薄型化・接着剤不使用
Size	外形158×74 mm、ウエハ保持部の厚み1.8 mm、根本側の厚み1.2 mm

Features Of This Product

反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）は、反りウエハを吸着させやすくするため、ウエハ保持部の先端に、段差0.6 mmを設けた空洞一体型のハンドです。反りやたわみのあるウエハ搬送に最適です。また、総厚が1.8 mmで薄型のため、カセット内でのウエハの接触を低減します。歩留まり改善や生産性向上が期待できます。

Features of "反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）"

・先端2箇所に段差を設けた
　空洞一体型ハンド
・薄型化
・接着剤不使用

Shape of "反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）"

図1は、反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）の外形図と側面図です。
先端2箇所に0.6 mmの段差が付いた形状です。
※画像をクリックすると、拡大できます。
左図は、反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）のB-B断面図（図1参照）です。
先端の総厚は、1.8 mmです。段差を設けたので、反りウエハが吸着しやすくなりました。
※画像をクリックすると、拡大できます。

Examples and achievements of "反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）"

2024.05.20
4～8インチ反りウエハ対応ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）

Industry: SemiconductorRobots ・ Equipment

Material: High Purity Alumina

Click here

Frequently Asked Questions on "反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）"

「反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）」は高温での使用が可能ですか。

可能です。接着剤を使用していないため、高温環境下で使用できます。
「反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）」のデモ機を借りたいです。

デモ機は現在準備中です。準備でき次第、お知らせいたします。
現在使用しているハンドを段差のある形状に設計してほしいです。

設計は可能でございますが、現状製作可能サイズは、長さ160×幅70×厚み根本側1.2、厚み先端部1.8 [mm]までとなります。さらに大きなサイズは開発中となります。貴社ハンドに適用要望がある場合、弊社にて設計対応いたしますのでお気軽にご相談ください。詳細はこちら→
UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）との違いを教えてください。

UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）との違いは、先端2箇所の段差の有無です。反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）は、先端2箇所に0.6 mmの段差を設けたことで、反りウエハが吸着しやすくなりました。

さらに、ウエハとの接触面積が少なくなりました。