| Product Name | 反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用） |
|---|---|
| Classification | 吸着ハンド |
| Use | ウエハ搬送用(大気用) |
| Material | 高純度アルミナ |
| Feature |
・先端2箇所に段差を設けた 空洞一体型ハンド ・薄型化 ・接着剤不使用 |
| Size | 外形158×74 mm、ウエハ保持部の厚み1.8 mm、根本側の厚み1.2 mm |
Features Of This Product
Features of "反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）"
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・先端2箇所に段差を設けた
空洞一体型ハンド
・薄型化
・接着剤不使用
Shape of "反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）"
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図1は、反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）の外形図と側面図です。
先端2箇所に0.6 mmの段差が付いた形状です。
※画像をクリックすると、拡大できます。 -
左図は、反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）のB-B断面図（図1参照）です。
先端の総厚は、1.8 mmです。段差を設けたので、反りウエハが吸着しやすくなりました。
※画像をクリックすると、拡大できます。
Examples and achievements of "反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）"
Frequently Asked Questions on "反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）"
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可能です。接着剤を使用していないため、高温環境下で使用できます。
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デモ機は現在準備中です。準備でき次第、お知らせいたします。
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設計は可能でございますが、現状製作可能サイズは、長さ160×幅70×厚み根本側1.2、厚み先端部1.8 [mm]までとなります。さらに大きなサイズは開発中となります。貴社ハンドに適用要望がある場合、弊社にて設計対応いたしますのでお気軽にご相談ください。詳細はこちら→
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UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）との違いは、先端2箇所の段差の有無です。反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）は、先端2箇所に0.6 mmの段差を設けたことで、反りウエハが吸着しやすくなりました。
さらに、ウエハとの接触面積が少なくなりました。
