For fine ceramic products such as Transfer End Effector / Handling Arm and Porous Chuck
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UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
Material: High Purity Alumina
12インチウエハ搬送用 トレイ式軽量化ハンド(UniZac-Obon®)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
Material: High Purity Alumina
Φ200×t 0.5 SiCダミーウエハ(反り量0.5 mm)【常圧焼結品/多結晶体】
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
Material: High Purity Silicon Carbide
グラインダー装置用セラミックガイドベース
Industry: バックグラインド工程
Material: High Purity Alumina
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