アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減

本事例のポイントは、交換頻度が多かった部品に対して、アルミナの保護カバーを取り付けることにより、部品の長寿命化および交換工数の低減を実現した点にあります。

セラミックス素材の一つであるアルミナは、金属材料に比べ非常に優れた耐食性・耐薬品性を持ち、高温耐性も良好です。そのため、保護カバー自体の寿命も長いです。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存の金属・プラスチック製品から、耐食性・耐薬品性・高温耐性に優れたセラミックス製品への置き換えをご検討の際は、お気軽にご相談ください。