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アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減

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    製品の交換工数
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    工数削減
    コストダウン
    生産性向上
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    アルミナカバー

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

半導体デバイスメーカーのお客様より、「クリーニングガスで汚染されたCVD装置のヒーター部品の交換頻度が多く手間なので、交換頻度を減らす工夫は無いでしょうか?」ということで、当社にご相談がありました。

  • アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減|セラミックスデザインラボ

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」は、お客様がCVD装置のチャンバー内壁のクリーニングを行う際に、ヒーター部品に対して、アルミナ素材の保護カバーを取り付けることをご提案いたしました。

その結果、クリーニングガスでヒーターが汚染されることを防止することができたため、ヒーター部品の持ちが良くなり、ヒーター部品の交換頻度を大幅に低減させることができました。

  • アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減|セラミックスデザインラボ
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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、交換頻度が多かった部品に対して、アルミナの保護カバーを取り付けることにより、部品の長寿命化および交換工数の低減を実現した点にあります。

セラミックス素材の一つであるアルミナは、金属材料に比べ非常に優れた耐食性・耐薬品性を持ち、高温耐性も良好です。そのため、保護カバー自体の寿命も長いです。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存の金属・プラスチック製品から、耐食性・耐薬品性・高温耐性に優れたセラミックス製品への置き換えをご検討の際は、お気軽にご相談ください。

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