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문제마모
생산성(처리량)
제품 교환 공수 -
제안 효과내마모성 향상
생산성 향상(처리량 향상)
공수 절감
비용 절감 -
상품 유형웨이퍼 반송 핸드
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
아스삭에서 웨이퍼 유지부의 수지 부분도 세라믹제로 제작 제안을 실시했습니다. 세라믹은 경량, 고강도이며 우수한 내구성을 가지고 있습니다. 핸드의 점검・교환 빈도가 줄어, 코스트 다운이나 생산성 UP에 연결되었습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는 수지 재료로부터의 세라믹화에 의해 수배의 장수명화를 도모한 것입니다.
세라믹의 특징인 경량, 고강성, 고강도를 살려 뛰어난 효과를 낼 수 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
기존의 수지제나 금속제 웨이퍼 반송 핸드에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.
종래, 웨이퍼 유지부가 수지 사양의 핸드를 사용하고 있었습니다만, 사용해 가는 사이에 마모해 버리기 때문에, 빈번한 교환이 필요했습니다.