로봇 테스트 센터란?
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세라믹 디자인 랩에서는, 웨이퍼 반송 공정의 검증 설비인 「로봇 테스트 센터」를 사내에 갖추고 있어, 특주 반송 핸드의 시험이 가능합니다. 반송 핸드의 위치 정밀도나 반복 정밀도, 내구성 등을 확인할 수 있어 유저님의 특주 반송 핸드 제작, 조달을 서포트합니다. -
‘로봇테스트센터’에서는
여기와 같은 시험이 실시 가능합니다.◆반송 속도 확인
◆반송 중 진동 확인
◆반송 후의 웨이퍼의 파티클 측정
◆반송 횟수에 따른 웨이퍼의 위치 어긋남
(반복 제도)의 계측◆웨이퍼 뒷면에 흠집이 생기는 방법 확인
◆웨이퍼 유지부의 PAD의 표면 거칠기 측정
로봇 테스트 센터가 고객에게 제공하는 가치
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라인 투입전에, 조건을 바꾸어 반송 핸드의 성능을 테스트해 두고 싶다・・・
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반송 핸드로 실제로 웨이퍼를 반송하면, 의도하지 않은 상처가 붙어 버렸다・・・
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반송을 반복하고 있으면, 서서히 위치 어긋남이 커져 버렸다・・・
ロボットテスト
센터에서는, 특주 핸드로 실제로 웨이퍼를 반송해 시험·평가할 수 있기 때문에,
납품 후 · 운용 개시 후의 수정 · 재작성을 회피수 있습니다!
센터에서는, 특주 핸드로 실제로 웨이퍼를 반송해 시험·평가할 수 있기 때문에,
납품 후 · 운용 개시 후의 수정 · 재작성을 회피수 있습니다!
설계 개발자를 위한
VA·VE 제안 사례 일람
- 어려움이 있는 부분에서 검색
- 제안 효과에서 검색
- 제품종류에서 검색
- 왜곡
- 비용
- 파티클
- 전도성
- 흡착흔
- 정전기
- 大型偏光フィルムの吸着
- 휨 웨이퍼
- 생산성(처리량)
- 불순물
- 스파크
- 웨이퍼 상처
- 제품 교환 공수
- 아웃 가스
- 표면저항값
- 웨이퍼 붙이
- 반사율
- 통기성
- 보풀 부착
- 위치 어긋남
- 막힘
- 내 플라즈마
- 수율
- 접촉 피해
- 제품 수명
- 발진
- 불량률
- 내열성
- 오염
- 마모
- 기능성
- 내약품성
- 내식성
- 薄ウェハ
비용
파티클
전도성
흡착흔
정전기
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2022.12.05정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상정전기 대책표면 저항값 제어
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2022.12.05웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내열성 향상정전기 대책표면 저항값 제어아웃 가스 억제
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2022.12.05코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 오염 방지정전기 대책스파클링 방지불량률 감소
大型偏光フィルムの吸着
휨 웨이퍼
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
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2023.03.07Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
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2022.12.05휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책생산성 향상(처리량 향상)
생산성(처리량)
웨이퍼 상처
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
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2022.12.05휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책흡착흔 억제수율 향상파티클 대책
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2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
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2023.08.08
パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지흡착흔 억제
제품 교환 공수
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2022.12.051개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소
제품 종류： 알루미나 커버
제안 효과： 공수 절감비용 절감생산성 향상
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)기능성 향상
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2022.12.05
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내마모성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감
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2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
아웃 가스
웨이퍼 붙이
통기성
위치 어긋남
수율
접촉 피해
제품 수명
발진
내열성
오염
마모
기능성
내약품성
薄ウェハ
- 準備中です
- 금속 오염 방지
- 내마모성 향상
- 기능성 향상
- 웨이퍼의 상처 방지
- 정전기 대책
- 내열성 향상
- 휴대성
- 휨 웨이퍼 대책
- 스파클링 방지
- 내약품성 향상
- 생산성 향상
- 위치 어긋남 방지
- 불량률 감소
- 생산성 향상(처리량 향상)
- 내마모성
- 접촉 피해 억제
- 수율 향상
- 공수 절감
- 표면 저항값 제어
- 마모 방지
- 파티클 대책
- 흡착흔 억제
- 아웃 가스 억제
- 왜곡 억제
- 플라즈마 내성 향상
- 긴 수명화
- ワークの傷防止
- 오염 방지
- 비용 절감
금속 오염 방지
내마모성 향상
기능성 향상
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
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2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
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2022.12.05휴대용 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상휴대성
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2022.12.05
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05
워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류： 소성용 세터
제안 효과： 접촉 피해 억제기능성 향상불량률 감소수율 향상
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2022.12.05
고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상정전기 대책표면 저항값 제어
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)기능성 향상
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2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
웨이퍼의 상처 방지
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책흡착흔 억제수율 향상파티클 대책
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2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
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2023.08.08
パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지흡착흔 억제
정전기 대책
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상정전기 대책표면 저항값 제어
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내열성 향상정전기 대책표면 저항값 제어아웃 가스 억제
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2022.12.05
코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 오염 방지정전기 대책스파클링 방지불량률 감소
내열성 향상
휨 웨이퍼 대책
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
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2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
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2022.12.05
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책생산성 향상(처리량 향상)
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2022.12.05
휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책흡착흔 억제수율 향상파티클 대책
내약품성 향상
생산성 향상
위치 어긋남 방지
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
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2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
-
2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
불량률 감소
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류： 소성용 세터
제안 효과： 접촉 피해 억제기능성 향상불량률 감소수율 향상
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2022.12.05
마스크의 세라믹화 제안
제품 종류： 기타
제안 효과： 왜곡 억제비용 절감불량률 감소
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2022.12.05
코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 오염 방지정전기 대책스파클링 방지불량률 감소
생산성 향상(처리량 향상)
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2022.12.05
금속 오염 방지가 가능한 특수 처리 제품 제안
제품 종류： 기타
제안 효과： 내약품성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감긴 수명화금속 오염 방지파티클 대책
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)기능성 향상
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2022.12.05
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내마모성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감
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2022.12.05
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책생산성 향상(처리량 향상)
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2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
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2024.06.10大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 왜곡 억제생산성 향상(처리량 향상)흡착흔 억제ワークの傷防止
내마모성
접촉 피해 억제
수율 향상
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
-
2022.12.05
워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류： 소성용 세터
제안 효과： 접촉 피해 억제기능성 향상불량률 감소수율 향상
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2022.12.05
휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책흡착흔 억제수율 향상파티클 대책
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2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
공수 절감
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2022.12.05
금속 오염 방지가 가능한 특수 처리 제품 제안
제품 종류： 기타
제안 효과： 내약품성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감긴 수명화금속 오염 방지파티클 대책
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2022.12.05
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05
알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소
제품 종류： 알루미나 커버
제안 효과： 공수 절감비용 절감생산성 향상
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2022.12.05
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내마모성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감
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2022.12.05흡착 핸드의 공동 일체화 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내열성 향상공수 절감긴 수명화비용 절감아웃 가스 억제
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2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
표면 저항값 제어
파티클 대책
흡착흔 억제
아웃 가스 억제
왜곡 억제
긴 수명화
ワークの傷防止
오염 방지
비용 절감
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2022.12.05
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
-
2022.12.05
알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소
제품 종류： 알루미나 커버
제안 효과： 공수 절감비용 절감생산성 향상
-
2022.12.05
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내마모성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감
-
2022.12.05
마스크의 세라믹화 제안
제품 종류： 기타
제안 효과： 왜곡 억제비용 절감불량률 감소
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2022.12.05
흡착 핸드의 공동 일체화 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내열성 향상공수 절감긴 수명화비용 절감아웃 가스 억제
-
2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
- 웨이퍼 반송 핸드
- 소성용 세터
- 다공성 척
- 알루미나 커버
- PAD
- 기타
웨이퍼 반송 핸드
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
금속으로부터 도전성 세라믹으로의 웨이퍼 반송 핸드의 재질 변경에 의한 접촉 데미지의 저감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 접촉 피해 억제마모 방지오염 방지
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
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2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
-
2022.12.05
휴대용 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상휴대성
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2022.12.05
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05
고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상정전기 대책표면 저항값 제어
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)기능성 향상
다공성 척
PAD
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책생산성 향상(처리량 향상)
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2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
재료 선정·설계에서 제조, 검사·시험까지,
특주 웨이퍼 반송 핸드에 관한 어려움마다
원 스톱으로 대응합니다!
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