| Product Name | 試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®） |
|---|---|
| Classification | トレイ式標準ハンド |
| Use | ウエハ搬送（大気用・真空用） |
| Material | 高純度アルミナ |
| Feature |
・高耐熱性 ・軽量化 ・たわみが少ない |
| Size | 12インチ：外形354×200 mm、厚み4 mm |
Features Of This Product
トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）は、内部に空洞を設け、軽量化を実現した当社オリジナルのハンドです。大気と真空の両方の環境で使用が可能です。従来のUniZac-Obonに比べて、25 ％たわみが少ないことが特徴です。この製品は、試作品となります。
Features of "試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）"
-
・高耐熱性
・軽量化
・たわみが少ない
Shape of "試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）"
-
右図は、12インチのトレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）の外観形状と側面図です。
内部に10箇所の空洞部を設けました。
※画像をクリックすると、拡大できます。
Examples and achievements of "試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）"
Frequently Asked Questions on "試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）"
-
できます。12インチ以外にも、3～8インチの形状に対応ができます。詳しくはお問い合わせください。
-
解析結果から、12インチのシリコンウエハを乗せた場合のたわみ量は、0.408 mmです。詳しくは技術コラムをご覧ください。技術コラムはこちら→
-
解析結果から、12インチのシリコンウエハを乗せた場合の応力は、6.15 MPaです。詳しくは技術コラムをご覧ください。技術コラムはこちら→
