高純度多孔質セラミックによる課題解決事例のご紹介

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高純度多孔質セラミックで

いつもお世話になり、ありがとうございます。

アスザックの中澤です。

アスザックではこれまでセラミックに関するお客様のお悩みに対して、 生産技術部門によるVA/VE提案やR&D部門オリジナル素材/製品の開発を行うことでお悩み解決のお手伝いをさせていただいてまいりました。

今回は当社が 高純度多孔質セラミック の提案・開発をすることでお悩み解決に繋がった実績をご紹介させていただきますので、ぜひご覧ください。

【これまでのお悩み解決実績】

・ CMP装置やグラインダー、ダイサー等で使える高精度な

　 多孔質チャックが欲しい

　⇒解決内容： 使用環境に合わせ素材を選定した多孔質チャックの製作

・ 多孔質チャックに導電性が欲しい

　⇒解決内容： 多孔質に導電性を付与したチャックの製作

・ ウェハ吸着痕対策と吸着力の両立がしたい

　⇒ 気孔径を小さくしたまま通気率を確保した素材開発

・ 耐薬品性,耐熱性のある多孔質チャックが欲しい

　⇒解決内容： 耐熱性・耐薬品性の高い多孔質チャックの製作

・  ハンドやガスフィルター等にも使ってみたい

　⇒解決内容：  多孔質パッドやフィルター等の小物パーツの製作

・   薄ウェハや反りウェハを搬送したい

　⇒解決内容：   ウェハにダメージを与えにくい多孔質を用いた搬送

　　　　　　　　ハンドの製作

上記以外にも当社では現在、下記内容の提案/開発を行っております。

現在の提案/開発内容

・ＰＬＰの搬送パーツ

・耐薬品／耐摩耗（工業薬品系に強い）

・高温環境での使用

・冷却、断熱性の高い素材の開発

・オーダメイドによる大判サイズ対応

当社ではお客様のお困りごとをきっかけに多くの技術・製品の開発を行っております。また、多孔質の素材や新技術の開発を日々継続的に実施しておりますので、セラミックに関するお悩みがございましたら、是非一度ご相談ください。