2024.02.15
ウエハ搬送ハンド
厚さ1.2 mmの空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air®」の技術コラム
反ったウエハを搬送する際、カセットに接触し、ウエハが破損したことはありませんか。当社の UniZac-air®（1.2 ...
For fine ceramic products such as Transfer End Effector / Handling Arm and Porous Chuck
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2023.11.01 ウエハ搬送ハンド搬送ハンドの困りごとを解決～搬送ハンドの選定～
どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、お困りではありませんか。 この技術コラムでは、当社オリジナルの搬送ハンドの選...
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2023.04.14 ウエハ搬送ハンド【従来品より40％軽量！】超軽量搬送ハンドのご紹介
セラミックスデザインラボでは、この度 独自の技術を用いて従来のアルミナ製と比較して、約40％の軽量化を実現した超軽量搬送...
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2023.03.14 ウエハ搬送ハンド【従来品より20％軽量】PLP搬送向け 軽量アルミナハンド AiR-PLP
セラミックスデザインラボでは、このたび、大型セラミックスの製造技術を高度化、PLP基板搬送向けに□500サイズ、□600...
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2023.02.28 ウエハ搬送ハンド【効果検証】静電拡散膜コーティングによるウエハへの糸くず付着軽減
【効果検証】静電拡散膜コーティングによるウエハへの糸くず付着軽減 ウエハ搬送ハンドにおいて、表面へのゴミの付着は看過でき...
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2023.02.14 ウエハ搬送ハンドウエハ搬送セラミックハンド 設計改善・VAVE事例のご紹介
今回は、ウエハ搬送セラミックハンドの性能向上につながる改善事例を３つご紹介します。 ① 品質不良リスクを低減！ウエハとハ...
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