試作品UniZac-Obon®の軽量化品のご紹介
試作品のオリジナルハンドUniZac-Obon®について、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に成功しまし...
For fine ceramic products such as Transfer End Effector / Handling Arm and Porous Chuck
made in Japan
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TEL+81-26-248-1626
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試作品のオリジナルハンドUniZac-Obon®について、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に成功しまし...
ウエハ保持部に段差を設けたことで、反りウエハを吸着させやすくした搬送ハンドです。詳細は以下をご覧ください。 ...
反ったウエハを搬送する際、カセットに接触し、ウエハが破損したことはありませんか。当社の UniZac-air®(1.2 ...
どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、お困りではありませんか。 この技術コラムでは、当社オリジナルの搬送ハンドの選...
今回は、セラミックスデザインラボが高純度多孔質セラミックの提案・開発をすることにより、お客様のお悩み解決に繋がった実績を...
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今回は、ウエハ搬送セラミックハンドの性能向上につながる改善事例を3つご紹介します。 ① 品質不良リスクを低減!ウエハとハ...
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