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6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック(本体A5052)

6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック(本体A5052)|セラミックスデザインラボ
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック(本体A5052)|セラミックスデザインラボ
製品名称 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック(本体A5052)
業界 半導体
産業機械
フィルム
製品種類 多孔質チャック
材質 多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
サイズ 本体外径:Φ170、厚み20 mm、多孔質外径:Φ150、厚み8 mm
こちらは、ウエハやフィルター、治具類の吸着に使用する多孔質チャックです。 当社のマシニングセンターを使用して、JIS中級の寸法精度で加工を行いました。多孔質部分の飛び出し量は1mmになっています。本体の側面に、吸着ポート(Rc1/8)を施しました。多孔質と本体は、エポキシ系の接着剤で接着しています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、多孔質セラミックス原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような吸着チャックのほか、ウエハ搬送用ハンドやウエハートレイ、焼成治具などセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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