特注製作事例

セラミックスデザインラボ > 特注製作事例 > Φ330アルミナ空洞一体プレート

Φ330アルミナ空洞一体プレート

Φ330アルミナ空洞一体プレート|セラミックスデザインラボ
製品名称 Φ330アルミナ空洞一体プレート
業界 半導体
セラミックス焼成治具
ボンディング工程
検査工程
リソグラフィ工程
製品種類 焼成治具
その他
セラミックスプレート
材質 高純度アルミナ
サイズ 外径Φ330、厚み4.6

こちらは、Φ330の内部に空洞が設けられたアルミナセラミックスプレートです。当社の空洞一体技術により、Φ330厚み4.6 mmの範囲に、幅10 mmの流路を複数設けました。

流路内に液体を流すことで温調機器(冷却・加熱)や、プレートの精度制御に用いたりすることが可能となります。

 

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような内部に空洞を持つアルミナセラミックスプレートのほか、搬送ハンドやウエハートレイ、多孔質吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。セラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

特注製作事例一覧

  • 最新事例
  • 業界から
    探す
  • 製品種類
    から探す
  • 材質から
    探す
  • CVD工程
  • 半導体
  • ロボット・装置
  • 洗浄工程
  • 光学機器
  • 化学・素材
  • セラミックス焼成治具
  • 産業機械
  • フィルム
  • 大学・研究機関
  • その他
  • ボンディング工程
  • 検査工程
  • リソグラフィ工程
  • バックグラインド工程
  • アニール工程
  • エピタキシャル工程

半導体

ロボット・装置

光学機器

産業機械

ボンディング工程

  • ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
  • ベルヌーイハンド
  • ウエハートレイ
  • 焼成治具
  • フィルター
  • その他
  • 多孔質チャック
  • ウエハ
  • XYステージ部品
  • 検査治具
  • セラミックスプレート
  • ピンチャック
  • セラミックステージ
  • セラミックガイド
  • ウエハ搬送ハンド(ロボットトレイ式ハンド)

ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)

ベルヌーイハンド

  • 超高純度アルミナ(4N)
  • 静電気拡散アルミナ
  • 高純度SiC
  • アルシーマL
  • ブラックアルミナ
  • 高純度アルミナ
  • SiC(炭化ケイ素)
  • 多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
  • 導電性セラミックス

高純度アルミナ

多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)

CONTACT

お見積り・お問合せは、お電話/FAXまたはメールフォームより承ります。