| 產品名稱 | Φ330アルミナ空洞一体プレート |
|---|---|
| 行業 |
半導體 陶瓷燒製夾具 ボンディング工程 検査工程 リソグラフィ工程 |
| 產品類別 |
陶瓷燒結夾具 其他 セラミックスプレート |
| 材料 | 高純氧化鋁 |
| 尺寸 | 外径Φ330、厚み4.6 |
こちらは、Φ330の内部に空洞が設けられたアルミナセラミックスプレートです。当社の空洞一体技術により、Φ330厚み4.6 mmの範囲に、幅10 mmの流路を複数設けました。
流路内に液体を流すことで温調機器（冷却・加熱）や、プレートの精度制御に用いたりすることが可能となります。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような内部に空洞を持つアルミナセラミックスプレートのほか、搬送ハンドやウエハートレイ、多孔質吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。セラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
