| 製品名称 | 多孔質SiCチャック（本体アルミナ） |
|---|---|
| 業界 |
産業機械 フィルム 大学・研究機関 |
| 製品種類 | 多孔質チャック |
| 材質 |
高純度アルミナ 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス） |
| サイズ | 本体外形：120×80 mm、厚み20 mm、多孔質外形：85×55 mm、厚み8 mm |
こちらは、ウエハやフィルター、治具類の吸着に使用する多孔質チャックです。 当社のマシニングセンターを使用して、JIS中級の寸法精度で加工を行いました。本体と多孔質部分は、面一での加工になります。本体の四隅に、3キリ、ザグリ径Φ5、深さ7mmのザグリ穴を設けました。本体の裏面には、吸着ポートM6のブッシュが加工されています。また、多孔質部分と本体は、エポキシ系の接着剤で接着しています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、多孔質セラミックス原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような吸着チャックのほか、ウエハ搬送用ハンドやウエハートレイ、焼成治具などセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
