薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案

本事例のポイントは、薄ウエハを安定して保持し、且つウエハの位置ズレを低減できた点にあります。

薄ウエハ用の搬送ハンドを設計する際は、吸着不足・バキュームリーク等の低減を考慮して設計を行う必要があります。

ウエハを8つのガイドで保持しているため、薄ウエハを安定的に保持できます。また、ウエハの位置ズレを防止できたため、エアーリークによる周囲のワークに与える影響がありません。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。
薄ウエハの搬送やウエハの位置ズレについてお困りの方は、お気軽にご相談ください。