PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案

本事例のポイントは、部品の表面処理を実施することで部品材質や形状を変えることなく、新たな特性を付加することが可能です。

アスザックでは材料開発、コーティング開発に注力しており、母材や部品形状を変えることなく、部品に新たな特性を付加することが可能です。特に静電気対策やコンタミ対策に有効なアプローチです。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のPADについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。