高温下でも静電気拡散効果に優れたウエハ搬送ハンドのご提案

本事例のポイントは、特殊なコーティングにより、高温下でも表面抵抗値が低く静電気拡散効果が高いウエハ搬送ハンドを実現した点にあります。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社が開発した独自コーティング技術であるADC膜は、高温環境下でも表面抵抗値が低いままなので充分な静電気拡散性を確保することができます。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

糸くずや不純物の付着による不良の発生にお困りの方は、お気軽にご相談ください。