VA・VE提案事例

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PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案

  • お困りごと
    ウエハの傷
    ウエハの張り付き
    位置ズレ
    接触ダメージ
  • 提案効果
    ウエハの傷防止
    位置ズレ防止
    接触ダメージ抑制
    歩留まり向上
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンドPAD

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

樹脂製PADを使用する際、ウエハがPADに張り付いてしまい、ウエハを離す際に位置ずれやウエハに傷が生じてしまうという問題がありました。

当社からの提案・改善効果/After

PAD部品に表面処理を実施し、PADがウエハに張り付きにくいよう加工を行いました。位置ずれや傷防止にも繋がりました。


アスザックではセラミックの加工だけでなく、お客様の要望に応えられるよう部品の選定や処理等も出来る限り対応いたします。

  • PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案|セラミックスデザインラボ
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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、部品の表面処理を実施することで部品材質や形状を変えることなく、新たな特性を付加することが可能です。



アスザックでは材料開発、コーティング開発に注力しており、母材や部品形状を変えることなく、部品に新たな特性を付加することが可能です。特に静電気対策やコンタミ対策に有効なアプローチです。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のPADについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
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TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

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  • ウエハの傷防止
  • 耐熱性向上
  • 反りウエハ対策
  • 耐薬品性向上
  • 位置ズレ防止
  • 生産性向上(スループット向上)
  • 接触ダメージ抑制
  • 工数削減
  • 摩耗防止
  • 吸着痕抑制
  • 歪み抑制
  • 長寿命化
  • コンタミ対策
  • コストダウン
  • メタルコンタミ対策
  • 機能性向上
  • 静電気対策
  • 可搬性
  • スパークリング防止
  • 生産性向上
  • 不良率低減
  • 耐摩耗性
  • 歩留まり向上
  • 表面抵抗値制御
  • パーティクル対策
  • ワークの傷防止
  • アウトガス抑制
  • プラズマ耐性向上

工数削減

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