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薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案

  • お困りごと
    薄ウェハ
    反りウエハ
  • 提案効果
    反りウエハ対策
    位置ズレ防止
    機能性向上
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

半導体・検査装置メーカーのお客様より、「ウエハの検査工程で、ウエハキャリアからウエハを搬送する際、薄ウエハの搬送ができ、ウエハの位置ズレを抑制できるハンドを提案していただけないでしょうか。」ということで、搬送ハンドの製作実績が豊富な当社にお問い合わせがありました。

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」では、薄ウエハを安定的に保持でき、ウエハの位置ズレを抑制できるベルヌーイハンドLeviZac®をご提案いたしました。今回はお客様用途に合わせ、I型のLeviZac®を設計し提案いたしました。


その結果、ウエハ保持不足・バキュームリークによる薄ウエハの破損や、ウエハの位置ズレによるウエハの傷、破損、不良を低減することができ、歩留まり向上を実現いたしました。

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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、薄ウエハを安定して保持し、且つウエハの位置ズレを低減できた点にあります。


薄ウエハ用の搬送ハンドを設計する際は、吸着不足・バキュームリーク等の低減を考慮して設計を行う必要があります。


ウエハを8つのガイドで保持しているため、薄ウエハを安定的に保持できます。また、ウエハの位置ズレを防止できたため、エアーリークによる周囲のワークに与える影響がありません。


 


「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。
薄ウエハの搬送やウエハの位置ズレについてお困りの方は、お気軽にご相談ください。

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