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お困りごとパーティクル
発塵
耐薬品性
製品寿命
コンタミ -
提案効果メタルコンタミ対策
パーティクル対策
耐薬品性向上
生産性向上(スループット向上)
工数削減
長寿命化 -
製品種類その他
お客さまのお悩み・お困りごと/Before
当社からの提案・改善効果/After
そこで「セラミックスデザインラボ」では、樹脂部品をSiC(炭化ケイ素)に置き換えました。
その結果、耐熱性・耐薬品性が向上し、長寿命化にもつながりました。
さらに、SiC表面に独自の特殊処理や精密洗浄を施すことにより、既存SiCの課題であったメタルコンタミ対策やパーティクル対策が可能となりました。
本提案事例のポイント/Point
本事例のポイントは、樹脂からセラミックスへの材質変更を行うことで、必要な耐熱性・耐薬品性を確保した点にあります。
また、SiCはメタルコンタミが問題となる場合がありますが、特殊な表面処理により対策しているため、不良を低減することができます。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。
樹脂・金属からセラミックスへの材質変更をご検討の方、樹脂の耐熱性・強度や金属の耐薬品性・耐食性にお困りの方は、お気軽にご相談ください。
半導体製造装置メーカーのお客様より、「既存の樹脂部品を耐熱性・耐薬品性の高い素材に変更したい」ということで、セラミックス材料開発も行う当社にご相談いただきました。