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メタルコンタミ対策ができる特殊処理製品のご提案

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お客さまのお悩み・お困りごと/Before

半導体製造装置メーカーのお客様より、「既存の樹脂部品を耐熱性・耐薬品性の高い素材に変更したい」ということで、セラミックス材料開発も行う当社にご相談いただきました。

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」では、樹脂部品をSiC(炭化ケイ素)に置き換えました。


その結果、耐熱性・耐薬品性が向上し、長寿命化にもつながりました。


さらに、SiC表面に独自の特殊処理や精密洗浄を施すことにより、既存SiCの課題であったメタルコンタミ対策やパーティクル対策が可能となりました。

  • メタルコンタミ対策ができる特殊処理製品のご提案|セラミックスデザインラボ

本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、樹脂からセラミックスへの材質変更を行うことで、必要な耐熱性・耐薬品性を確保した点にあります。

また、SiCはメタルコンタミが問題となる場合がありますが、特殊な表面処理により対策しているため、不良を低減することができます。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

樹脂・金属からセラミックスへの材質変更をご検討の方、樹脂の耐熱性・強度や金属の耐薬品性・耐食性にお困りの方は、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

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TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

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