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マスクのセラミック化提案

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お客さまのお悩み・お困りごと/Before

従来成膜のプロセスにおいて金属製マスクを用いていたところ、マスクに歪みが発生、不良増に繋がっているとのことでした。

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当社からの提案・改善効果/After

アスザックより、マスクの金属製からセラミック化の提案を行いました。セラミック化と同時に、ウェハからの取り数を増やすために従来品からマスク形状を設計変更し製作を行いました。セラミック製のマスクは金属製のものと比較すると歪みが少なく、不良率の低減とコストダウンに繋がりました。

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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは金属材料からのセラミック化により2倍以上の長寿命化を図れたことです。

セラミックスの特徴である軽量、高剛性、高強度を活かすことで優れた効果をすることが可能です。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存の成膜プロセスのマスク部品等についてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

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