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ブラックアルミナピンへの材料変更

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    耐熱性向上
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お客さまのお悩み・お困りごと/Before

石英プレート上にウェハを載せる際、その位置合わせ用に用いる黒いピン部品についてのご相談です。

高温環境、750℃の環境において、現行部品は消耗が激しいため、耐久性の高いセラミックス部品をお探しでした。

当社からの提案・改善効果/After

耐熱性が高いブラックアルミナでの部品製作を提案しました。

ブラックアルミナは、光源計・顕微鏡・検査装置用の部品で反射率の低さが求められる際に採用される材料です。石英に比べて寿命が長く(プラズマ耐性が高く)、色持ちも良好です。

高温環境下でも色落ちせず、摩耗しないセラミックス部品として製作、コストダウンとなりました。

  • ブラックアルミナピンへの材料変更|セラミックスデザインラボ
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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは使用環境に応じた最適な素材選定を図ったことです。

広く規格・特性が知られている金属材料と異なりセラミックス材料はメーカー毎に特性が異なります。また極端に言えばユーザー、部品単位で材料を調合することも可能なため、必要な性能に応じて材料から改善を図ることが可能です。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

セラミック部品についてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

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