VA/VE 제안 예시

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휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안

  • 문제
    휨 웨이퍼
    웨이퍼 상처
    위치 어긋남
  • 제안 효과
    휨 웨이퍼 대책
    위치 어긋남 방지
    기능성 향상
    수율 향상
  • 상품 유형
    웨이퍼 반송 핸드

고객의 고민과 고민 / 비포

반도체·FPD 관련 장치 메이커의 고객으로부터, “검사·세정 공정에 있어서 휘어진 웨이퍼를 반송할 때, 흡착 부족에 의해 웨이퍼가 낙하해 버리는 일이 있습니다.또, 웨이퍼의 위치 어긋남에도 곤란하고 있습니다만 , 무엇인가 제안을 해 주실 수 있을까요?」라고 하는 것으로, 반송 핸드의 제작 실적이 풍부한 당사에 문의가 있었습니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

거기서 「세라믹스디자인랩」에서는, 휨 웨이퍼를 안정적으로 유지할 수 있어 웨이퍼의 위치 어긋남도 억제할 수 있는 8 인치 웨이퍼 반송용의 베르누이 핸드 LeviZac®를 제안했습니다.

그 결과, 흡착 부족· 진공 누설에 의한 휨 웨이퍼의 낙하나, 위치 어긋남에 의한 웨이퍼의 상처, 파손, 불량을 저감할 수 있어 수율 향상을 실현했습니다.

  • 휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안|세라믹스 디자인 라보
  • 휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안|세라믹스 디자인 라보

제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는, 휨 웨이퍼를 안정적으로 유지하고, 또한 웨이퍼의 위치 어긋남을 저감할 수 있는 점에 있습니다.


휨 웨이퍼용의 반송 핸드를 설계할 때는, 흡착 부족· 진공 누설 등의 저감을 고려해 설계를 실시할 필요가 있습니다.




「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

휨 웨이퍼의 반송이나 웨이퍼의 위치 어긋남에 대해 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 大型偏光フィルムの吸着
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

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  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
  • ワークの傷防止
  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
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웨이퍼 반송 핸드

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