-
문제휨 웨이퍼
웨이퍼 상처
위치 어긋남 -
제안 효과휨 웨이퍼 대책
위치 어긋남 방지
기능성 향상
수율 향상 -
상품 유형웨이퍼 반송 핸드
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
거기서 「세라믹스디자인랩」에서는, 휨 웨이퍼를 안정적으로 유지할 수 있어 웨이퍼의 위치 어긋남도 억제할 수 있는 8 인치 웨이퍼 반송용의 베르누이 핸드 LeviZac®를 제안했습니다.
그 결과, 흡착 부족· 진공 누설에 의한 휨 웨이퍼의 낙하나, 위치 어긋남에 의한 웨이퍼의 상처, 파손, 불량을 저감할 수 있어 수율 향상을 실현했습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는, 휨 웨이퍼를 안정적으로 유지하고, 또한 웨이퍼의 위치 어긋남을 저감할 수 있는 점에 있습니다.
휨 웨이퍼용의 반송 핸드를 설계할 때는, 흡착 부족· 진공 누설 등의 저감을 고려해 설계를 실시할 필요가 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
휨 웨이퍼의 반송이나 웨이퍼의 위치 어긋남에 대해 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.
반도체·FPD 관련 장치 메이커의 고객으로부터, “검사·세정 공정에 있어서 휘어진 웨이퍼를 반송할 때, 흡착 부족에 의해 웨이퍼가 낙하해 버리는 일이 있습니다.또, 웨이퍼의 위치 어긋남에도 곤란하고 있습니다만 , 무엇인가 제안을 해 주실 수 있을까요?」라고 하는 것으로, 반송 핸드의 제작 실적이 풍부한 당사에 문의가 있었습니다.