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문제휨 웨이퍼
전도성
정전기 -
제안 효과웨이퍼의 상처 방지
휨 웨이퍼 대책
정전기 대책
불량률 감소 -
상품 유형웨이퍼 반송 핸드PAD
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
아스자크로부터, 도전성이 있는 PAD를 장착한 정전기 확산 알루미나(ADC막과 ADB막)의 핸드를 제안했습니다.
결과, 정전기에 대책을 취할 수 있게 되어, 수율 향상에 연결되었습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는, 정전기 대책에 의해, 웨이퍼의 마모·상처를 방지해, 수율 향상을 실현한 점입니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
기존의 웨이퍼 반송 핸드에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.
웨이퍼 반송에 종사하는 고객으로부터, 「웨이퍼 반송 핸드에 있어서, PAD로 흡착하면서 정전기 대책도 하고 싶다」라고 하는 상담을 받았습니다.