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문제접촉 피해
발진
마모 -
제안 효과접촉 피해 억제
마모 방지
오염 방지 -
상품 유형웨이퍼 반송 핸드
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
거기서 「세라믹스디자인랩」에서는, 실리콘과 경도가 같은 도전성 세라믹스(콜시드, 당사 개발 재료)의 웨이퍼 반송 핸드를 제안했습니다.
이것에 의해, 접촉 데미지에 의한 웨이퍼의 마모, 상처, 파손, 발진을 대폭 저감할 수 있어 불량률 저감으로 이어졌습니다.
또, 도전성 세라믹스를 채용하고 있기 때문에, 금속과 같이 도전성을 갖추고 있어, 또한 도전성 코팅도 불필요합니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는, 웨이퍼 반송 핸드의 재질을, 금속으로부터, 실리콘과 경도가 같은 세라믹스 재료로 치환한 것으로, 접촉 데미지를 저감한 점에 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
금속·수지 제품에서 세라믹으로의 재질 변경을 검토하시는 분, 반송 핸드와 웨이퍼의 접촉에 의한 트러블에 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.
반도체 검사 장치·반송 장치 메이커의 고객으로부터, “CVD·에칭 공정에 있어서의 웨이퍼 반송에 있어서, 금속제의 반송 핸드를 사용하고 있습니다만, 접촉 데미지에 의한 실리콘 웨이퍼의 상처, 파손에 곤란하고 있습니다. 인가 좋은 대책은 없을까요?」라고 하는 상담을 받았습니다.