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문제통기성
접촉 피해
수율 -
제안 효과접촉 피해 억제
기능성 향상
불량률 감소
수율 향상 -
상품 유형소성용 세터
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
「세라믹스디자인랩」에서는, 기공 직경이 작고, 통기성이 좋은 다공질 소재 AZP50을 제안했습니다.
고객에게 평가해 주신 결과, 열처리시에 통기성이 향상되어 워크에의 영향이 억제된 것을 확인할 수 있었습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는, 소성용 세터의 재질로서 통기성이 좋은 다공질 소재를 선정함으로써, 워크에의 영향을 억제할 수 있었던 점입니다.
잔류 응력을 줄이기 위해 열처리 중 가스 배출은 매우 중요합니다. 「세라믹스디자인랩」이 독자적으로 개발한 알루미나계의 다공질 세라믹스 AZP50은, 기공률 50%로 뛰어난 통기성을 가지는 소재입니다. 당사에서는 통기성을 더욱 높여 흡착력도 향상시킨 AZP60도 준비하고 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
소성 지그의 재료 선정에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주세요.
소성용 세터를 사용하고 있는 반도체 디바이스 메이커의 고객으로부터, 「워크에의 영향이 작고, 열처리시에 가스 배출을 할 수 있는 통기성이 좋은 소재는 없습니까?」라고 하는 것으로, 세라믹스 소재의 개발 도 실시하고있는 당사에 상담해 주셨습니다。