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문제왜곡
불량률 -
제안 효과왜곡 억제
비용 절감
불량률 감소 -
상품 유형기타
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
아스작보다, 마스크의 금속제로부터 세라믹화의 제안을 실시했습니다. 세라믹화와 동시에, 웨이퍼로부터의 취수를 늘리기 위해서 종래품으로부터 마스크 형상을 설계 변경해 제작을 실시했습니다. 세라믹제의 마스크는 금속제의 것과 비교하면 왜곡이 적고, 불량률의 저감과 코스트 다운에 연결되었습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는 금속 재료로부터의 세라믹화에 의해 2배 이상의 장수명화를 도모할 수 있다는 것입니다.
세라믹의 특징인 경량, 고강성, 고강도를 살려 뛰어난 효과를 낼 수 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
기존의 성막 프로세스의 마스크 부품 등에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.
종래 성막의 공정에 있어서 금속제 마스크를 이용하고 있었는데, 마스크에 변형이 발생, 불량증에 연결되어 있다고 하는 것이었습니다.