アルシーマダミーウェハのご提案

本事例のポイントは、高価な実物ウエハを使わずにチャンバーメンテナンス時のロボットティーチングや搬送アライメント評価を再現・評価できる点にあります。さらに、アスザックでは12インチ（Φ300）サイズで各種反り量・反り形状のダミーウェハをご用意しております。Φ300以外のサイズ、オリフラ・ノッチの対応についても別途ご相談可能です。