搬送ハンドの困りごとを解決～搬送ハンドの選定～

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搬送ハンドの困りごとを解決いたします！

～搬送ハンドの選定編～

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いつもお世話になり、ありがとうございます。

アスザックの中澤です。

お客様から、どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、問い合わせを頂くことがあります。そこで、今回のメルマガでは、搬送ハンドの選定にお困りのお客様向けに、弊社オリジナルの搬送ハンド選定の流れをご紹介いたします。ぜひご覧ください。

はじめに、ハンドリング方式を選定します。

ハンドリング方式には、トレイ式、吸着式、ベルヌーイ式の3種類があります。ウエハの搬送方式に応じて、選定します。

真空機能を使用せず、ウエハを水平方向に搬送させる場合に使用します。

ウエハの反転動作はできません。

真空機能を使用して、ウエハを吸着し、ウエハを搬送させる場合に使用します。ウエハの反転動作ができます。搬送速度が速いです。

圧縮空気を使用して、負圧を発生させ、ウエハを保持し、ウエハを搬送させる場合に使用します。ウエハの反転動作ができます。

ハンドリング方式が決まったら、オリジナルハンドを選定します。

使用環境やウエハの吸着箇所に応じて、以下のラインアップから選定します。

静電気対策のコーティングやセンサー溝の加工、PADの取り付けが選定できます。3種類のオプション内容があります。