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搬送ハンドの困りごとを解決~搬送ハンドの選定~

ウエハ搬送ハンド 2023.11.01

どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、お困りではありませんか。
この技術コラムでは、当社オリジナルの搬送ハンドの選定の流れをご説明いたします。
ぜひご覧ください。

 
   
   
     
   

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搬送ハンドの困りごとを解決いたします!

~搬送ハンドの選定編~

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いつもお世話になり、ありがとうございます。

アスザックの中澤です。

お客様から、どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、問い合わせを頂くことがあります。そこで、今回のメルマガでは、搬送ハンドの選定にお困りのお客様向けに、弊社オリジナルの搬送ハンド選定の流れをご紹介いたします。ぜひご覧ください。

   

搬送ハンドの選定の流れ

   

ステップ1:ハンドリング方式の選定

ステップ2:オリジナルハンドの選定

ステップ3:オプションの選定

   
   

ステップ1:ハンドリング方式の選定

   

はじめに、ハンドリング方式を選定します。

ハンドリング方式には、トレイ式、吸着式、ベルヌーイ式の3種類があります。ウエハの搬送方式に応じて、選定します。

   

① トレイ式

ハンドの凹部内にウエハを落とし込む方式 (すくい上げ方式)

真空機能を使用せず、ウエハを水平方向に搬送させる場合に使用します。

ウエハの反転動作はできません。

② 吸着式

ウエハを真空吸着する方式

真空機能を使用して、ウエハを吸着し、ウエハを搬送させる場合に使用します。ウエハの反転動作ができます。搬送速度が速いです。

③ ベルヌーイ式

圧縮空気の噴流によって、ウエハを保持する方式

圧縮空気を使用して、負圧を発生させ、ウエハを保持し、ウエハを搬送させる場合に使用します。ウエハの反転動作ができます。

 

ステップ2:オリジナルハンドの選定

   

ハンドリング方式が決まったら、オリジナルハンドを選定します。

使用環境やウエハの吸着箇所に応じて、以下のラインアップから選定します。

   

① トレイ式ハンド

・UniZac-Obon

真空環境下と高温環境下で使用可能

特徴

 

・高耐熱性

・高強度

・薄型化

     

② 吸着式ハンド

・UniZac-air

接着剤によるコンタミを防止できる

特徴

 

耐久性向上

・高耐熱性

・接着剤不使用

 

     

・PeriZac

ウエハ外周3mm以内で吸着できる

特徴

 

ウエハとの接触面積が少ない

ワークにダメージを与えにくい

薄型化が可能

     

・UniZac-Pair

ウエハにダメージを与えない

特徴

 

薄ウエハを平滑面で吸着できる

・吸着痕が付きにくい

・薄く柔軟性のある反りウエハが

 吸着できる

     

③ ベルヌーイ式ハンド

薄く反りのあるウエハを吸着できる

特徴

 

ウエハの負荷が低減できる

外周のガイド以外は非接触を

 実現

薄型化が可能

 

   

ステップ3:オプションの選定

   

静電気対策のコーティングやセンサー溝の加工、PADの取り付けが選定できます。3種類のオプション内容があります。

   

① 静電気対策のコーティング

特徴

・パーティクル対策

・ウエハへのダメージ低減

・高温環境下での使用

・糸くず対策

・PFAS対応

・フッ素レス

・象牙色と黒色のコーティング

静電気対策に有効な表面抵抗値

 (1.0×10^6~1.0×10^10Ω)を

   カバー

ADC膜(象牙色)コーティング

ADB膜(黒色)コーティング

     
   

② センサー取り付け用の溝加工

特徴

以下の用途向けのセンサー溝加工ができます。

・ウエハの位置ズレ検出用

・ウエハの傾き検出用

・ウエハの落下検出用

・ウエハの飛び出し検出用

ウエハマッピング用

     
   

③ PADの取り付け

特徴

・ウエハの位置ずれ防止

・ウエハへの傷防止

・PADがウエハに張り付きにくい



     
   
   
   
   
 

 
 

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