| 製品名称 | ドライエッチング用 SiC製 ウエハートレイ（ザグリ穴タイプ） |
|---|---|
| 業界 | 半導体 |
| 製品種類 | ウエハートレイ |
| 材質 | SiC（炭化ケイ素） |
| サイズ | 外形Φ230 mm、厚み2 mm |
こちらは、4インチ用のウエハを載せるSiCトレイです。
Φ230×2tの形状に、3個のウエハを載せることができます。ウエハを載せる部分は、ザグリ穴の形状です。当社のマシニングセンターを使用して、Φ102、深さ0.82の穴加工を行いました。ザグリ穴の精度は、上限公差+0.1下限公差0、ザグリ深さの精度は、上限公差0下限公差-0.05です。ザグリ穴部の平面平行度は、0.05程度です。さらに、幅3×長さ3.5のU字形状のノッチ加工を施しています。面粗度は、Ra0.8になります。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、SiC原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハートレイのほか、ウエハ搬送ハンド（自社開発品含む）や吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。
半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
