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反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)

反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)|セラミックスデザインラボ
反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)|セラミックスデザインラボ
反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)|セラミックスデザインラボ
製品名称 反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)
業界 半導体
ロボット・装置
産業機械
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
材質 高純度アルミナ
サイズ 12インチ用:外形350×220 mm、厚み4.2 mm

 

 

こちらは、12インチウエハ吸着用の多孔質埋め込みハンドです。反りウエハ用の搬送ハンドとなります。本体のアルミナに、Φ23のAZP60多孔質セラミックス1個を接着剤で接着しています。ウエハ吸着部は、根本側1カ所のAZP60多孔質セラミックスです。先端2カ所の凸Φ5の部分でウエハを保持します。根本の取付穴は、4×Φ4の貫通穴です。吸引ポートは1カ所で、穴径Φ5、端面ピッチ20 mmの貫通穴です。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料や多孔質セラミックスの調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような反り対応ウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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