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反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)

反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)|セラミックスデザインラボ
反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)|セラミックスデザインラボ
反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)|セラミックスデザインラボ
反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)|セラミックスデザインラボ
製品名称 反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)
業界 半導体
ロボット・装置
産業機械
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
材質 高純度アルミナ
多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
サイズ 12インチ用ハンド外形350×220 mm、厚み3.5 mm

こちらは、12インチウエハ吸着用の多孔質埋め込みハンドです。反ウェハ用の搬送ハンドとなります。ハンドの厚みは3.5 mm、外形は、350×220 mmです。本体のアルミナに3個のAZP60の多孔質セラミックスを接着剤で接着しています。根本の取付穴は、4×Φ4の貫通穴です。吸引ポートは1カ所で、穴径Φ5、端面ピッチ20 mm、非貫通穴です。当社のマシニングセンターを使用して、本体のアルミナと多孔質セラミックスを面一に仕上げています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料や多孔質セラミックスの調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような反り対応ウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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