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ドライエッチング用 SiC製 ウエハートレイ(ザグリ穴タイプ)

ドライエッチング用 SiC製 ウエハートレイ(ザグリ穴タイプ)|セラミックスデザインラボ
ドライエッチング用 SiC製 ウエハートレイ(ザグリ穴タイプ)|セラミックスデザインラボ
製品名称 ドライエッチング用 SiC製 ウエハートレイ(ザグリ穴タイプ)
業界 半導体
製品種類 ウエハートレイ
材質 SiC(炭化ケイ素)
サイズ 外形Φ230 mm、厚み2 mm
こちらは、4インチ用のウエハを載せるSiCトレイです。 Φ230×2tの形状に、3個のウエハを載せることができます。ウエハを載せる部分は、ザグリ穴の形状です。当社のマシニングセンターを使用して、Φ102、深さ0.82の穴加工を行いました。ザグリ穴の精度は、上限公差+0.1下限公差0、ザグリ深さの精度は、上限公差0下限公差-0.05です。ザグリ穴部の平面平行度は、0.05程度です。さらに、幅3×長さ3.5のU字形状のノッチ加工を施しています。面粗度は、Ra0.8になります。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、SiC原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハートレイのほか、ウエハ搬送ハンド(自社開発品含む)や吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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