| 製品名称 | 反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ（UniZac-Pair） |
|---|---|
| 業界 |
半導体 ロボット・装置 産業機械 |
| 製品種類 | ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 12インチ用:外形350×220 mm、厚み4.2 mm |
こちらは、12インチウエハ吸着用の多孔質埋め込みハンドです。反りウエハ用の搬送ハンドとなります。本体のアルミナに、Φ23のAZP60多孔質セラミックス1個を接着剤で接着しています。ウエハ吸着部は、根本側1カ所のAZP60多孔質セラミックスです。先端2カ所の凸Φ5の部分でウエハを保持します。根本の取付穴は、4×Φ4の貫通穴です。吸引ポートは1カ所で、穴径Φ5、端面ピッチ20 mmの貫通穴です。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料や多孔質セラミックスの調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような反り対応ウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
