製品名称 | 8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(UniZac-air®) |
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業界 | 半導体 |
製品種類 | ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド) |
材質 | 高純度アルミナ |
サイズ | 8インチ用ハンド外形158×74 mm、厚み1.9 mm |
こちらは、8インチ用の吸着タイプの搬送ハンドです。8インチ用ですが、3インチ、4インチ、5インチ、6インチのウエハを吸着することもできます。当社のマシニングセンターを使用して、ウエハ保持部の面粗度をRa0.8に仕上げました。吸着用の長穴は空洞部に通じるザグリ穴で、幅13深さ1.2になります。また、吸引ポートについては、Φ5の空洞部に通じるザグリ穴を1カ所施しました。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。