| 製品名称 | ウェーハプローバ装置向け搬送ハンド（吸着・ベルヌーイ一体型） |
|---|---|
| 業界 | 半導体 |
| 製品種類 |
ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） ベルヌーイハンド |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 外形410×220 mm、厚み4.4 mm |
こちらは、ウェーハプローバ装置用に使用する搬送ハンドです。
当社の独自技術である「中空一体成形技術」により、厚み4.4mmに対して、吸着とベルヌーイの流路の両方を設けております。当社のマシニングセンターを駆使して、噴き出し穴は、22.5°、Φ0.5の斜め穴加工を施しました。また、穴径Φ0.5×160個の吸着穴を加工しています。平面平行度は0.05に仕上げました。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。
半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
