精密XYステージ用 セラミックス長尺部品

こちらは、精密XYステージ用 セラミックス長尺部品です。材質は、高純度アルミナを採用しております。サイズ1000×70×40 mmの製品について、平面平行度 2 µmの精度で加工を行いました。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような精密XYステージ用部品のほか、搬送ハンド、ウエハートレイ、吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。精密XYステージ向けのセラミックス部部品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。