| 製品名称 | センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ |
|---|---|
| 業界 | ロボット・装置 |
| 製品種類 | ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） |
| 材質 |
高純度アルミナ 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス） |
| サイズ | 外形215×125 mm、厚み3.5 mm |
こちらは、反りウエハや薄いウエハを吸着できる多孔質埋め込みハンドです。 根本付近にセンサーを取り付けるための溝が加工してあります。当社のマシニングセンターを使用して、JIS中級の寸法精度で加工を行いました。多孔質部分の飛び出し量はありません。アルミナの本体と多孔質面が面一になるように加工しています。本体の材質は、アルミナで、多孔質は、AZP60です。本体と多孔質は、エポキシ系の接着剤で接着しています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナや多孔質セラミックス原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなロボット用ウエハ搬送ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
