| 製品名称 | 両面吸着多孔質チャック（本体：アルシーマ、多孔質：表面AZP60、裏面AZPS40） |
|---|---|
| 業界 |
半導体 ロボット・装置 光学機器 |
| 製品種類 | 多孔質チャック |
| 材質 |
アルシーマL 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス） |
| サイズ | 本体外形：100×100 mm、厚み20 mm、多孔質外形：80×80 mm、厚み5 mm |
こちらは、ウエハや治具類の吸着に使用する両面吸着ができる多孔質チャックです。 当社のマシニングセンターを使用して、JIS中級の寸法精度で加工を行いました。多孔質部分の飛び出し量はありません。アルシーマの本体と多孔質面が面一になるように加工しています。本体の側面に、吸着ポート（Rc1/8）を施しました。表面の多孔質は、AZP60、裏面の多孔質は、AZPS40です。多孔質と本体は、エポキシ系の接着剤で接着しています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、多孔質セラミックス原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような吸着チャックのほか、ウエハ搬送用ハンドやウエハートレイ、焼成治具などセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
