1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案

本事例のポイントは、搬送方式が異なる複数のウエハ搬送ハンドを使用しており交換工数やコストがかかっていたものを、吸着・浮上の両機能を併せ持つ多機能ハンドに置き換えることで工数削減・コストダウンを実現した点にあります。

搬送対象（ウエハ、フィルム等）によっては、吸着方式が適している場合と、浮上により非接触での保持が適している場合とがあるため、適切な搬送方法を選定する必要があります。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

搬送ハンドのコストや交換工数についてお困りの方は、お気軽にご相談ください。