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1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案

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    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

半導体製造装置メーカーのお客様より、「後工程・検査・洗浄工程において数種類のウエハ搬送ハンドを使用しているのですが、取り換えが手間で困っております。何か良いご提案は無いでしょうか?」というご相談を頂きました。

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」では、1本の搬送ハンドでウエハの吸着と浮上ができる空洞一体型の多機能ハンドをご提案いたしました。

浮上についてはベルヌーイ方式の設計を行いました。1本の搬送ハンドでウエハの吸着と浮上の使い分けができるようになったことで、搬送ハンドの交換工数を低減することができ、且つコストダウンにもつながりました。

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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、搬送方式が異なる複数のウエハ搬送ハンドを使用しており交換工数やコストがかかっていたものを、吸着・浮上の両機能を併せ持つ多機能ハンドに置き換えることで工数削減・コストダウンを実現した点にあります。

搬送対象(ウエハ、フィルム等)によっては、吸着方式が適している場合と、浮上により非接触での保持が適している場合とがあるため、適切な搬送方法を選定する必要があります。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

搬送ハンドのコストや交換工数についてお困りの方は、お気軽にご相談ください。

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