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お困りごと接触ダメージ
発塵
摩耗 -
提案効果接触ダメージ抑制
摩耗防止
コンタミ対策 -
製品種類ウエハ搬送ハンド
お客さまのお悩み・お困りごと/Before
当社からの提案・改善効果/After
そこで「セラミックスデザインラボ」では、シリコンと硬度が同じ導電性セラミックス（コルシード、当社開発材料）のウエハ搬送ハンドをご提案いたしました。
これにより、接触ダメージによるウエハの摩耗、傷、破損、発塵を大幅に低減することができ、不良率低減につながりました。
また、導電性セラミックスを採用しているため、金属同様に導電性を備えており、且つ導電性コーティングも不要です。
本提案事例のポイント/Point
本事例のポイントは、ウエハ搬送ハンドの材質を、金属から、シリコンと硬度が同じセラミックス材料に置き換えたことで、接触ダメージを低減した点にあります。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。
金属・樹脂製品からセラミックスへの材質変更をご検討の方、搬送ハンドとウエハの接触によるトラブルにお困りの方は、お気軽にご相談ください。
半導体検査装置・搬送装置メーカーのお客様より、「CVD・エッチング工程におけるウエハ搬送において、金属製の搬送ハンドを使用しているのですが、接触ダメージによるシリコンウエハの傷、破損に困っています。何か良い対策は無いでしょうか？」というご相談を頂きました。